賽默飛已設計生產了特定大小的微粒用來校準用於半導體工業的掃描表麵監測係統(SISS) 。
通過與儀器生產商合作 ，研發生產出Surf-Cal微粒尺寸標準品(幹)係列產品以滿足SEMI 標準規則要求 。可提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS)1定義的關鍵的尺寸節點的大小。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品(幹) ，粒度標準簡化校準晶片的製備 ，用於掃描表麵檢測係統（SSIS）的校準和維護 。可用的粒徑對應於儀器製造商要求的校準點尺寸。
特點 ：
Surf-Cal微粒尺寸標準品(幹)
標稱直徑
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